Jakie wymagania dotyczące ultra-wysokiej czystości rządzą rurami gazowymi?
Semi F72 standardy wykończenia powierzchni .<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1 μm). Zawartość wilgoci<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Jak przygotowywane są spoiny dystrybucji gazu?
Spawanie orbitalne z ultra-wysoką czystością argon . spawanie podwójne dla linii krytycznych . elektropolowanie do 0 . 25} Ra . pasywacja z kwasem nitrycznym . Płukanie końcowe 18,2 MΩ · cm wody.
Jakie testy potwierdzają integralność rur gazowych?
Testowanie upływu helu do 1 × 10⁻⁹ atm-cc/s . analiza gazu resztkowego dla zanieczyszczenia . Liczenie cząstek gazu czystego . Analiza wilgoci według spektroskopii laserowej .
W jaki sposób szafki gazowe są podłączone do systemów dystrybucji?
VCR Złącze twarzy dla szczelnych połączeń . oczyszczone wtórne powstrzymanie . rurki podwójnie ściany dla niebezpiecznych gazów . do kontroli statycznej . Ograniczone forifice dla bezpieczeństwa.}}}
Jakie utrzymanie zapobiega zanieczyszczeniu systemu gazowego?
Coroczne testowanie szczelności wszystkich połączeń . monitorowanie cząstek podczas zmian gazu . weryfikacja jakości zwykłego czyszczenia gazu . Utrzymanie zaworów . procedury kontroli ścisłej zmiany .
